敬微精密的产品特点:
(1)全国产:敬微精密秉承“核心技术及工艺自主可控”的发展理念,坚持“关键工艺自己研发,基础元件自己制作,核心设备自己制造“的技术路线,依托自研的芯片技术、MEMS微加工工艺和国产基础相结合,攻克耐高温的微小密封转接件的制作、高稳定性的耐高温MEMS压阻式敏感元件的生产、耐高温传感器的测试半自动化设备等关键技术,填补国内技术空白,在高端MEMS制造领域实现100%国产品牌的突破,实现整个制作过程的国产化。
(2)耐高温、宽温区:一款产品覆盖很大的温度区间 -55~273℃ (温度补偿区间 25~250℃);
(3)谐振频率高:采用先进的无引线封装技术,摆脱传统的绑线及灌油的封装手法,没有灌油确保了谐振频率高和信号响应快。这种封装的传感器既耐高温又抗振动还接口小(口径5.5毫米),适合于极端环境下的原位测量。
(4)压力直读:敬微精密实现小压力量程到1MPa输出数据的压力直读。敬微精密的压力传感器直流电压的输出(mV)正好就是传感器承受的压力(kPa),这样,在实时的使用场景中,输出的数据就直接反映实际的压力,如700kPa的压力的输出是700mV,100kPa的输出是100mV (右图),大大提高传感器使用的便捷性。
(5)全覆盖:一款产品就可以覆盖到 1 MPa的整个小压力量程范围,没有选满量程的繁琐。敬微精密的一款小量程的产品既可以作为满量程0.7MPa也可以作为满量程0.1MPa的产品使用;
(6)不同的螺纹接口:作为纯国产品牌,敬微精密的耐高温MEMS压阻式压力传感器的接口螺纹为M8x1。
敬微精密产品的主要技术参数(CYD-3592系列):
压力量程 | 0 ~ 1MPa | 0 ~ 2.1,3.5,6MPa |
压力类型 | 绝压 | |
过载压力 | 量程2倍 | |
破裂压力 | 量程3倍 | |
压力介质 | 非导电性液体/气体 | |
输出阻抗 | 2 kΩ (典型值) | |
激励电压 | 10 Vdc | |
满量程输出 | 和所测压力一致 (比方 0.7 V@ 0.7 MPa) | 100mV (典型值) |
工作温度 | -55 ~ 273 ℃ | |
补偿温度 | 25 ~ 250 ℃ | |
零位输出 | 不大于 ±5 mV | |
温度/灵敏度漂移 | ± 0.02%FS | |
综合精度 | ±0.1%FSO BFSL(典型值) ±0.5%FS(MAX.) | |
温补区总精度 | ±0.5%FS (典型值) | |
谐振频率 | 不小于400kHz(量程相关) | |
电缆长度 | 补偿模块前 1.1m,补偿模块后 0.5m | |
传感器重量 | 不大于40g(带线和补偿模块 ) | |
螺纹接口 | M8x1 |
公司简介
厦门市敬微精密科技有限公司是由德国、日本归国科学家创办成立的国家高新技术企业,厦门“双百计划”领军型人才(A类)创业企业。公司总部位于厦门市火炬高新区,同时在厦门海沧设立研发中心及生产基地。
公司以创始人在海外三十多年积累的微加工和超精密加工方面的国际领先技术及经验,聚焦以MEMS微加工技术为核心,已实现从新型材料研制、芯片设计、微加工工艺、封装、测试到元器件制造等100%自主可控,真正实现高端传感器领域“卡脖子”技术的重大突破,拥有完整的自主知识产权。
公司专注于打造国产高端MEMS芯片传感器及各类敏感元器件,以航空航天、深海探测、核能、电力、石化、高端制船、轨道交通等战略工业领域实现高端传感器及解决方案的国产替代为目标,致力于成为国产高端芯片传感器一流的先进制造企业。